| D-Tec 3D检测 | |
| X/Y/Z重复定位精度 X/Y/Z Repeat Position Accuracy | ±15um@4sigma(CPK＞1.33) |
| 运动驱动方式 Motion-Driven Mode | Servo+Motor 伺服电机+丝杆 |
| 扫码速度 | 最高可达10KHz |
| 测量范围 | Z轴 25mm X轴宽度：近端 25mm X轴宽度：参考距离 27.5mm X轴宽度 ：远端 32.5mm |
| 产品尺寸 | 50*50~510*686mm |
| 机器外形尺寸 Machine Dimensions | 1020(L)*1500(W)*1500mm(H) |